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 精密洗凈設(shè)備的基本要求
①足清的工藝求，保證工件達到規(guī)定的清潔度要求;②求，比較高的清洗效率;③必須滿足無故障連續(xù)使用的要求，具有比較高的質(zhì)量可靠性;
④對操作者使用比較安全，工作場所容許的氣體濃度符合規(guī)定要求;對易燃、易爆類溶劑應(yīng)有溫度、濃度等控制，極限情況有報警或緊急停車裝置;
⑤ 污染物的排放符合環(huán)境保護法規(guī)的要求;
⑥操作簡單方便，使用成本比較低，經(jīng)濟合理、性能價格比好;
⑦造型美觀，色彩協(xié)調(diào)。
6.2 精密洗凈設(shè)備的分類
6.2.1按生產(chǎn)規(guī)模分類
(1)批次式清洗設(shè)備
生產(chǎn)的批量比較少，工件一般裝筐清洗，工件在各清洗工位上停留一定的時間，分步完成清洗作業(yè)。不同的工件，可以選擇不同的清洗停留時間。工件的輸送可以用手工，也可以用機械。適用于品種規(guī)格多，工件經(jīng)常要變動的，生產(chǎn)批量不很大的小規(guī)模和中等規(guī)模生產(chǎn)。一般設(shè)備占地面積不很大，投資相對低一些。
(2)在線式清洗設(shè)備
也叫通過式清洗設(shè)備，工件連續(xù)地通過清洗設(shè)備，完成清洗、漂洗、干燥全部作業(yè)。工件傳輸?shù)姆绞?，常用懸掛輸送鏈、單排或雙排磙子鏈輸送、水平網(wǎng)帶式輸送、氣動或液壓輸送以及機械手輸送等。生產(chǎn)的節(jié)奏快、效率高，適用于大批量生產(chǎn)。一般投資比較大，設(shè)備占地面積比較多。
6.2.2按使用的清洗工藝分類
(1)有機溶劑清洗工藝設(shè)備
對于不易燃溶劑常用汽相清洗設(shè)備，除了氟里昂-113、三氯乙烷以外，新的替代溶劑有HCFC-141bHCFC-123HCFC-225 HFC-4310、HFE-7100、nPB等以及氯化溶劑二氯甲烷、三氯乙烯、四氯乙烯等。其清洗設(shè)備的主要結(jié)構(gòu)特點是具有蒸氣槽和冷凝回收裝置。在清洗槽的上方有冷凝盤管，使溶劑蒸氣經(jīng)冷凝轉(zhuǎn)變成液體而回收下來。因為在溶劑蒸氣被冷凝的同時，空氣中的水蒸氣也被冷凝成水，故設(shè)備結(jié)構(gòu)上除了有回液槽以外，還應(yīng)有水分離裝置，使溶劑和水分離開來。冷凝盤管可用制冷機組直接冷卻，也可用冷凍水間接冷卻。對于使用三氯乙烯和四氯乙烯的因沸點比較高，也可以用自來水冷卻。另外，替代溶劑的價格比較高，為了減少溶劑的損耗，還要在結(jié)構(gòu)上采取措施，如采用雙層冷凝盤管、雙制冷溫度、加高自由區(qū)等。對于使用氯化溶劑的，因毒性問題工作場所容許的濃度比較低，在設(shè)備的結(jié)構(gòu)上要考慮密封設(shè)計和通風裝置。不同溶劑的材料相容性是不同的，設(shè)備上密封材料，尤其是泵密封是必須考慮的，否則會造成泄漏。汽相清洗設(shè)備在浸洗槽中可加超聲波裝置，成為超聲汽相清洗設(shè)備。汽相清洗工藝中，清洗和干燥幾乎是同時完成的，不需要另外的干燥裝置。
對于使用烴類清洗劑的清洗設(shè)備，其清洗設(shè)備的結(jié)構(gòu)特點是:先在烴類溶劑槽中浸洗，也可以加超聲波裝置;清洗后用烴類漂洗，或用醇類漂洗;最后用熱風干燥。烴類溶劑也可以采用減壓清洗設(shè)備。對于使用高沸點的烴類溶劑，因不容易干燥，故按半水溶劑清洗工藝考慮。烴類溶劑屬于易燃性溶劑，防燃、防爆、安全是此類設(shè)備考慮的重點。
?（2）半水溶劑清洗工業(yè)設(shè)備
?此類清洗工藝要使用兩種清洗介質(zhì)，即溶劑清洗后要用水漂洗，最后要進行干燥。其結(jié)構(gòu)特點是:除了溶劑清洗槽外，還要有水漂洗槽，并且漂洗不是一次，要進行多次。漂洗后還要有干燥裝置。半水溶劑一般閃點比較高，還常在其中添加 5%~20%的水，相對來說比較安全。但仍屬于可燃性溶劑，同樣要考慮安全問題。
(3)水清洗工藝設(shè)備
此類清洗設(shè)備使用水基清洗劑，不存在燃燒、爆炸、毒性之類的安全問題，其結(jié)構(gòu)特點是:有清洗槽、漂洗槽，還有工件干燥裝置。超聲波在水基清洗劑中使用效果非常好，所以廣泛使用。壓力噴洗也用得很普遍。水清洗設(shè)備的占地面積比較大，耗能也比較多，還應(yīng)考慮純水的處理設(shè)備和清洗廢水的處理裝置。
6.2.3按清洗方式分類
(1)浸洗方式
包括冷浸洗、熱浸洗，即將工件浸泡在清洗介質(zhì)中，依靠清洗介質(zhì)的物理、化學作用來清除污物。在浸洗時，附加刷洗、擦洗。抹洗等機械力，或增加轉(zhuǎn)動、搖動、抖動、攪動，可明顯提高清洗效果和效率。
(2)噴洗、噴流方式
指清洗介質(zhì)在一定的壓力下噴洗工件，既靠清洗介質(zhì)的物理化學能又附加液體的沖刷動能，來清除工件表面的污染物。水基清洗可以用比較高的壓力，大型工件比較適合壓力噴洗，大批量流水線也比較適合壓力噴洗。但容易揮發(fā)的、閃點比較低的有機溶劑不適合壓力噴洗，但可以在液下噴流清洗。噴洗指的是在空間進行噴淋，噴流指的是在液下進行的噴淋。對于細小而輕薄的工件，不適合壓力噴洗;起泡性很大的清洗劑，也不適合壓力噴洗。
(3)超聲波清洗方式
利用超聲波在清洗介質(zhì)中傳播產(chǎn)生的空化效應(yīng)或加速度力，使粘附在工件表面上的污染物被剝離下來。超聲波清洗的效果十分明顯，低頻超聲(20~50kHz)主要靠空化效應(yīng)，有利于較大粒子的剝離，在精密洗凈中廣泛使用，尤其是水基清洗和半水基清洗。高頻超聲(~兆赫)主要靠加速度力，有利于微小粒子的剝
(4)汽相清洗方式 離，在硅片和薄膜晶體管液晶顯示器玻璃基板的清洗中日益得到應(yīng)用。 
利用有機溶劑的蒸氣來清洗，熱的溶劑蒸氣在冷的工件表面產(chǎn)生凝露，溶解工件表面的油脂和污染物，并在下滴時把污染物帶走。汽相清洗常和浸洗、超聲波清洗、噴洗結(jié)合起來，把汽相漂洗和干燥安排在最后工序。因為汽相環(huán)境比較潔凈，不會二次污染，且漂洗和干燥幾乎同時完成，不需要另外的干燥裝置，在精密洗凈中廣泛應(yīng)用。
(5)組合清洗方式
把浸洗、噴洗、超聲波清洗、汽相清洗，刷洗、擦洗、抖動清洗、轉(zhuǎn)動清洗等都組合起來清洗，在精密洗凈中廣泛使用。
(6)電解清洗方式
利用電能使金屬表面產(chǎn)生電化學反應(yīng)，水被分解成氫氣和氧氣，陽極產(chǎn)生氧氣，陰極產(chǎn)生氫氣，氣體從表面逸出時使油脂性污染物被剝離。如工件為陰極時，稱為陰極脫脂，陰極產(chǎn)生的氫氣為陽極產(chǎn)生氧氣的2倍，對污染物的剝離效果比較好。但是，工件表面易產(chǎn)生斑點和引起氫脆。如工件為陽極時，稱為陽極脫脂，產(chǎn)生的氣體和對污染物的剝離效果不如陰極，但在鐵的表面會形成氧化膜。因此，應(yīng)根據(jù)工件的材質(zhì)，選用陰極脫脂、陽極脫脂或兩者兼而用之。
(7)干法清洗方式
工件不在液體中清洗，而是用激光、等離子體、紫外線、臭氧、高壓惰性氣體等清除工件表面的污染物，在精密洗凈中日益得到推廣應(yīng)用，并和濕法清洗有機地結(jié)合起來。
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